Новый GEMÜ CleanStar High

GEMÜ C60 CleanStar с пневматическим управлением и GEMÜ C67 CleanStar с ручным управлением, размер привода 4. (Источник изображения: GEMÜ Gebr. Müller Apparatebau GmbH & Co. KG):

Требования полупроводниковой промышленности к конструкциям ламп постоянно растут. Структуры на микрочипах все меньшего размера требуют жидкостей максимальной чистоты, свободных от частиц. За последние годы одновременно увеличилось необходимое количество технологической среды из-за увеличения диаметра пластин. GEMÜ учитывает обе эти разработки при выпуске привода нового размера. Новый привод размера 4 доступен в номинальных размерах 1½ дюйма и 2 дюйма, а детали, контактирующие с рабочей средой, изготовлены из PFA и PTFE TFMTM. Эта комбинация позволяет транспортировать большие объемы среды и использовать сверхчистые конструкции клапанов даже на уровне поставок и распределения при производстве полупроводников. Компактная конструкция GEMÜ CleanStar одновременно обеспечивает превосходное соотношение расхода и занимаемой площади и в будущем заменит мембранные клапаны GEMÜ 600 HP и GEMÜ 677 HP/HPW.

GEMÜ CleanStar: проверенный дизайн покоряет новые области применения Преимущества серии GEMÜ CleanStar многочисленны. Центральная накидная гайка создает надежное соединение между приводом и корпусом клапана, причем совершенно без использования металлических деталей. Конструкция водослива (стиль водослива) обеспечивает распределение среды с минимальными нагрузками, сводит к минимуму тупики и не определяет направление потока. Внешние детали обладают очень хорошей химической стойкостью благодаря использованию ПВДФ. Отверстие для обнаружения утечек и прорезные отверстия для гибкой установки клапанов уже интегрированы в конструкцию корпуса. Серия также имеет индикатор положения в стандартной комплектации. Все эти преимущества были реализованы в масштабе нового привода типоразмера 4. Благодаря большим номинальным размерам компания GEMÜ уже использует все названные преимущества продукта для своих клиентов на уровне поставок и распределения (завод и субфабрика). полупроводникового производства.

Источник: GEMÜ Gebr. Мюллер Apparatebau GmbH & Co. КГ